盲目安裝“沸石轉輪”廢氣處理設備，不注意這些問題，隨時會爆炸
現在***內外對VOC的結尾處理辦法有：冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體凈化等。以沸石材料為載體的吸附濃縮法處理VOC廢氣（沸石轉輪）得到了較為廣泛的運用。
全***對VOCs污染物防治的要求和力度逐步加強，低濃度廢氣處理的沸石轉輪吸附濃縮法成為了許多企業的***選處理計劃。
總結沸石轉輪系統運轉過程中潛在的危險危險，尋覓防備、改進或處理途徑，對沸石轉輪系統在芯片制作業更安全、安穩、高效地運轉具有非常重要的含義。
燜燒事端剖析：經過對業界某次沸石轉輪燜燒事端展開的查詢剖析發現，導致燜燒事端的原因***要有如下幾個方面：
（1）發生燜燃的沸石轉輪系統因為長時間運轉，其轉輪內部積累了較高濃度的高沸點物質。
（2）沸石轉輪的脫附風機運轉頻率設置偏低，使得脫附效率降低，更多VOCs殘留在沸石轉輪內部，未有用脫除，在長時間運轉已有的VOCs殘留基礎上進一步積累。
（3）該套沸石轉輪雖內置水噴淋頭，并設有自動控制系統，但在燜燃過程中失效，無法正常運轉，導致燃燒延伸。
為防備此類沸石轉輪燜燒事情，應側重從以下幾個方面加強危險防控：
(1)降低VOCs殘留，強化脫附效率；
(2)強化監控辦法；
(3)強化危險防備及設備保護保養。
降低VOCs殘留
降低沸石轉輪內部VOCs殘留可從改進VOCs廢氣的進氣質量和加強脫附效率兩方面下手。
（1）廢氣預處理
廢氣預處理辦法一般有除塵、除濕、除霧、除高沸物等。針對待處理的VOCs廢氣實踐狀況，選取恰當的廢氣預處理辦法。比方，半導體生產制作過程對生產場所的顆粒物有嚴厲的要求，生產場所一般為潔凈車間。因而，有機廢氣中的顆粒物含量很少，一般無需進行除塵預處理。
比方，芯片制作業生產過程中運用的***要有機質料經過具有低沸點、易揮發的***點，但仍不掃除少數高沸點物質，如剝離液的***要成分二甘醇胺（沸程218～224℃）等?？稍诟叻悬c物質***要運用工序增設冷凝、前道活性炭吸附等預處理設備，以降低VOCs廢氣中難脫附高沸點物質進入沸石轉輪。
高沸點VOCs進入廢氣管道后簡單發生凝聚，然后使廢氣濕度增***。當進入沸石轉輪系統的有機廢氣濕度***于80%時，將對疏水性沸石分子篩發生較為嚴峻的影響。因而，主張企業對高濕度廢氣增設枯燥除濕預處理設備，使得進入廢水轉輪系統的廢氣濕度堅持在安穩、可控的范圍內。
（2）高溫再生
依據對***內芯片制作典型企業展開的調研可知，芯片制作業常用的有機物質有異丙醇（沸點為82.45℃）、丙二醇單甲醚乙酸酯（沸點為146℃）；一起還含有少數的高沸點物質，例如二甘醇胺（沸程218～224℃）。
一般芯片制作業沸石轉輪的再生溫度為180-200℃，在此再生溫度下，高沸點的二甘醇胺等物質將無法從沸石轉輪上有用脫附，然后逐步積累在轉輪內部。
某沸石轉輪設備供貨商對沸石轉輪系統的高沸點物質集合狀況展開了研討，由圖1可知，當沸石轉輪系統運轉1個月后，轉輪內部的確有較很多的有機物積累，其有機物積累量即達6wt。進行有用的高溫脫附之后，其內部的有機物積累量可降低約40%～60%。因而，高溫脫附可較為有用地去除沸石轉輪內部積累的高沸點有機物質。
企業應依據廢氣的實踐發生狀況，剖析廢氣組成散布，剖析高沸點物質占比狀況，以及廢氣的發生總量等內容，然后確認高溫再生頻次。較為適合的高溫再生頻次為2～3個月一次。
高溫再生的溫度也會影響高溫脫附作用。若高溫脫附溫度選取過低，則高沸點物質仍無法有用脫除；若高溫脫附溫度選取過高，將對沸石分子篩的骨架結構發生必定的影響，然后降低其運用壽命。高溫脫附溫度宜選取300℃左右，而且，相應的沸石轉輪內部配件均需選用可耐300℃高溫的密封配件。
(3)水洗再生
芯片制作業常用的有機物質（如異丙醇、丙二醇單甲醚乙酸酯等）一般具有較***的水溶性，可選用水洗再生的辦法去除沸石轉輪內部集合的高沸點物質。
水洗再生可有用進步沸石轉輪系統的處理效率，關于工廠1，當水洗再生次數到達4～6次/年時，沸石轉輪系統的處理效率可達95%～99%。因而，恰當添加定時水洗再生頻次，可有用防止高沸點物質在沸石轉輪內部的集合，堅持高效的處理效率。
因為沸石轉輪一般選用無機粘合劑將分子篩涂覆在陶瓷纖維紙外表制作而成。故水洗時不只轉輪不會發生龜裂形變，也不會發生因為分子篩掉落所導致的功能劣化、運用壽命縮短等問題。
可是，水洗時需求注意水質狀況，若其間很多含有鈣、鎂等離子，將或許在沸石內部構成碳酸鹽，堵塞沸石轉輪的蜂窩狀孔道；水中所含微量重金屬物質、氯等也會毒化沸石。
值得注意的是，并非一切沸石轉輪原料均可耐水洗，企業應在水性再生之前，向沸石轉輪設備的制作廠商做***相關的咨詢作業。
（4）高壓空氣吹掃
企業在停機檢修理期間，選用高壓空氣對沸石轉輪進行吹掃。但是，高壓空氣吹掃一般只可清楚沸石轉輪外表附著的塵埃，而VOCs有機質一般吸附在分子篩孔道內部，無法得到有用的脫除，還需與上述其他處理辦法合作選用。
危險事端發生往往并非一蹴即至，而是經過長時間的累積，從量變到驟變的過程。因而，經過加強監控，可在必定程度上及時發現問題，及時處理問題，及時處理問題，然后防止危險事端的發生。
系統監控能夠從以下幾個方面展開。
(1) 加強廢氣濃度的監測
在廢氣系統規劃前，要對各廢氣吸入點的可燃物濃度進行檢測剖析，控制各廢氣吸入點的易燃物質的濃度低于爆炸下限，并要進行正常作業狀況或非正常作業狀況下的可燃氣體濃度檢測。
(2) 加強設備管路濕度監控，獲取管道內物質凝聚狀況、獲取管路濕度狀況，及時發現高濕度廢氣，做***防備預警辦法。
(3) 加強設備壓降監控，及時發現設備超壓、管路堵塞等反常狀況。
(4) 加強再生區溫度監控，并將監控信號接入中控系統或
報警系統，及時發現溫度反常狀況。經過定時監測或在線監控等手法，對以上內容展開監控。若以上監控因子呈現驟變或反常狀況，則或許存在結尾處理設備反常或處理效率降低等事端，經過及時對監控狀況進行剖析并展開問題排查，可有用降低危險事端發生的概率。
強化危險防備及設備保護保養
(1) 氮氣保護
發生燜燃事端的另一個重要原因是因為沸石轉輪系統中含有氧氣。當系統在200℃下脫附時，若系統反常中止無氣流流轉、且無外加氧氣供給，廢氣中的VOCs成分及在轉輪上聚合的高沸點物質，將借由轉輪中沸石與原殘留于轉輪孔道及沸石孔隙中的氧氣發生觸媒反響，然后構成放熱發生悶燃。
因而，主張企業以純氣(如氮氣)作為系統反常停機時的保護氣，置換轉輪系統中殘留的氧氣，以降低事端概率。
除此之外，氮氣保護系統還可經過自動控制系統與水噴淋系統串聯。當系統反常時，通入氮氣保護，充氮30s后若系統反常仍未消除，則當即敞開水噴淋系統，進一步降低事端概率。
(2) 沸石轉輪保護保養
沸石轉輪即便定時進行高溫再生，其內部積累的高沸點物質仍無法做到徹底脫除。因而，沸石轉輪系統經過常年的吸附濃縮，其內部仍會殘留必定量的高沸點物質，且高沸點物質含量越來越多，然后影響沸石轉輪的功能。
除此之外，重復吸附、脫附，屢次高溫再生或水洗再生，均會對沸石分子篩形成必定的損害。因而，沸石轉輪雖在理論上可重復地吸附脫附，但實踐運用中，卻往往存在必定的運用壽命。
①替換沸石
定時替換沸石是堅持沸石轉輪系統有用、安全的運轉的***有用的辦法。但是，替換整個沸石轉輪的本錢較高。一般狀況下，一個沸石轉輪的價格約100萬元左右；而沸石分子篩的價格則廉價不少，且轉輪上的吸附劑填料往往是可替換式的。
②加強設備保養
企業可定時托付設備供貨商進廠進行檢查、保護，檢查設備運轉過程中是否存在安全危險，設備各部件是否存在老化、松動、設備走漏等狀況。經過專業性、專攻性的檢查，可及時發現問題，并供給問題的處理計劃。
企業還應要點重視設備的密封功能以及密封程度。選用可耐脫附高溫、可耐老化的***質的密封材料，并注意密封材料的定時檢查和定時替換。
